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真空镀膜压力控制创新方案:PCD系列压力控制器

点击次数:272发布时间:2019-12-03

大多数传统的真空镀膜工具使用下游压力控制来维持真空气体的压力。

但是安装节流阀可能要花费数千美元,还需要单独的控制模块来驱动阀门。节流阀设置在更换气体或等待气体沉淀时,也会造成延迟。

在燃烧室上游放置一个压力控制器,采用速动比例控制阀,可以提供更快的响应时间和更好的稳定性。这也省去了额外的节流阀和控制模块。

Alicat提供了这种选择。

 

1、PCD系列双阀绝压和表压压力控制器

对于较大规模或OEM项目,Alicat PCD系列双阀绝压和表压压力控制器能够控制真空水平。

该系列产品用于高真空、需要外接仪表的场景。

PCD系列双阀绝压和表压压力控制器从传感器获取模拟信号,并使用比例阀提供闭环控制。

通过增加一个外部压力传感器,可以更地维持压力,同时允许用户独立于真空镀膜系统改变或调整气体。

PCD系列双阀绝压和表压压力控制可以为外部真空仪表提供电源,兼容所有的测量技术,包括离子、皮拉尼和冷阴极。

 

2、Alicat集成真空控制器(IVC)

对于没有现有真空仪表的小型项目,Alicat集成真空控制器(IVC)是解决方案。

与PCD系列双阀绝压和表压压力控制一样,它省去了传统节流阀压力控制方法的体积、复杂性和费用。

IVC包括一个直接集成到设备中的真空传感器,使其能够直接控制真空压力。这些传感器能够在低范围内高精度工作,低至10毫托。

IVC还包括直接来自设备的PID控制,以及一个气动隔离传感器。与市场上的其他解决方案相比,IVC可以确保更高的精度,具有的燃烧测量和气体隔离。

在真空镀膜应用中,将压力控制装置置于真空镀膜的上游,可以节省时间、成本,提高真空镀膜工具的精度。

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