质量流量控制器以优异的精度、长期稳定性和可重复性测量和控制质量流量,覆盖宽动态测量范围,可高度配置,其外壳由金属制成,此外,流量控制器可使用各种电气接口和各种流体连接件,传感器信号可在芯片上直接转换成校准和经温度补偿的数字信号。
多气体校准可存储在单个器件上,此外,流量控制器还可检查激活的气体校准与实际气体是否匹配,为真正实现对每个过程的控制,用户必须测量进行中的过程,然后利用所得到的实时信息确保准确按照目标执行并达到目标产率。
控制器能够提升过程气体的测量准确性,包括弹性体密封和金属密封选件,为满足薄膜、半导体以及其他高科技行业需求而设计。什么是质量流量控制器,有哪些优势呢?
一、测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计则一般可以忽略不计。
二、测量控制的自动化
可以将流量测量值以输出标准电信号输出,这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等,对控制器而言,还可以实现流量的自动控制,通常配有RS232或RS485数字串行通讯口,能方便地与计算机连接,进行自动控制。
三、定量控制流量
可以精控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。