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真空应用流量控制器

  • 更新时间:  2019-09-26
  • 产品型号:  Alicat MCE和MCV系列
  • 简单描述
  • 利用艾里卡特MCE或MCV系列产品更新您的真空镀膜机。MCE系列产品的特征如下:与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快,外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准MFC实现端对端的匹配连接。
    MCV和MCE联系紧密,采用内置气动截止阀,适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上,防止在设定点为零时出现污染情况。
详细介绍

Alicat产品采用层流差压式原理,拥有LFE技术,凭借航天级水准,长期支持美国航天局(NASA)SpaceX探空火箭项目,并为科研及工业领域提供快捷、稳定的技术解决方案。

产品类型:气体或液体质量流量计、质量流量控制器、压力计、压力控制器。

客户行业:实验科研、环境保护、生物医药、过程控制、能源化工、半导体电子以及相关的公共事业。

应用领域:计量检测、泄漏测试、生物发酵、燃烧控制、真空镀膜、光伏、燃料电池等。

 

任何天气条件下均可准确完成空气流量校准

简单升级老化的热式流量控制器

利用艾里卡特MCEMCV系列产品更新您的真空镀膜机。MCE系列产品的特征如下:与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快,外形包括1/4 VCR焊接接头且能与SEMI标准MFC实现端对端的匹配连接。

MCVMCE联系紧密,采用内置气动截止阀,适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上,防止在设定点为零时出现污染情况。

多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。

连接。利用以太网/IPEtherCATDeviceNetProfibusModbusRTUTCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。

耐用。MCEMCV系列流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。

 

可用量程:最大0-20 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)

可调比:200:1MCE/MCV)或者100:1 MCES/MCVS

标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)

高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)

可重复性:0.2%满量程

标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms

气动阀漏气率(仅MCV系列):1 x 10-9 atm scc/sec(最大值,氦气)

无需预热时间

 

工作条件

兼容气体:98种(MCE/MCV系列)或130种(MCES/MCVS系列)预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体

工作温度:-10°C+60°C

最大内部压力(静态):145 psig160 psia

耐受压力:175 psig190 psia

STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP


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